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基于鍵合技術的光學讀出紅外探測器陣列的制作方法

894   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:39
本發明提供一種基于鍵合技術的光學讀出紅外探測器陣列的制作方法，所述制作方法至少包括：1)提供一犧牲襯底和一玻璃襯底，將所述犧牲襯底與所述玻璃襯底鍵合，減薄所述犧牲襯底形成犧牲層；2)在所述犧牲層上制作形成像素結構陣列，所述像素結構陣列包括制作于所述犧牲層表面的懸浮結構和制作于犧牲層中且與所述玻璃襯底直接接觸的錨；3)腐蝕所述犧牲層，釋放所述像素結構陣列，形成光學讀出紅外探測器陣列。本發明提供的制作方法能同時滿足器件對機械強度、熱串擾、像素的無損釋放和紅外輻射利用率等各方面的要求，適用于工業化生產。
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聲明：
“基于鍵合技術的光學讀出紅外探測器陣列的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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