在本發明提供一種監測存儲介質厚度異常的方法及裝置,該方法包括:采集存儲介質的實際光譜;將其與目標薄膜層對應的第一回歸擬合模型中的第一擬合光譜進行擬合,獲得每個第一擬合光譜與上述實際光譜的第一回歸擬合優度;其中,第一回歸擬合模型包括該存儲介質中目標薄膜層的多個第一預設厚度值,以及每個第一預設厚度值對應的第一擬合光譜,第一回歸擬合優度表征目標層對應的第一擬合光譜和實際光譜的相似程度;當最大的第一回歸擬合優度小于第一閾值時,監測到所述存儲介質的厚度異常??梢?,該方案能夠對存儲介質的厚度異常,進行有效地、無損傷地、實時在線地監測,并將厚度異常的信號反饋給工藝部門,優化工藝控制。
聲明:
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