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非接觸式光學鏡面間隔測量裝置

1012   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:33
本發明涉及一種非接觸式光學鏡面間隔測量裝置，包括：照明模塊、光纖模塊、兩個光纖準直鏡頭、反射鏡、直線位移傳感器、光電探測器和機械調平臺。本發明提出的非接觸式光學鏡面間隔測量裝置的精度高，鏡片間隔測量精度可以達到±1μm，能滿足高精度光學系統的裝校要求；本發明采用光學相干測量的原理，測量過程中，沒有任何機械測量部件與被測鏡面接觸，不會對被測鏡片產生損傷，屬于非接觸無損測量；本發明自動化程度高，將被測鏡頭放置在機械調平臺上，完成調平之后，整個測量過程就在軟件控制下進行，而且，需要的測量時間很短，提高了測量效率。
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“非接觸式光學鏡面間隔測量裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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