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用于晶片表面平整度測量的工裝

1027   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:33
本發明公開了一種能夠快速并準確測量晶片表面平整度，并且不會對晶片產生劃傷、壓碎、磕邊、污染等不良現象的用于晶片表面平整度測量的工裝，包括水平設置的底座，底座上設置有晶片放置區，支架位于底座上，支架上設置激光測距儀以及用于帶動激光測距儀運動的有X軸平動機構和Y軸平動機構，所述激光測距儀豎直設置。采用本發明的用于晶片表面平整度測量的工裝，使用時通過激光測距儀的測點在晶片表面行走的方式，測量激光測距儀到鏡片表面各個測點的距離，通過比對所測距離數值，就能夠判斷晶片表面是否平整。本發明結構簡單，能夠有效避免現有技術中的缺陷，保證晶片表面的完好無損，同時測量精度高，測量速度快。
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“用于晶片表面平整度測量的工裝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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