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基于低相干光干涉法的透鏡中心厚度的非接觸測量方法

1254   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:32
本發明公開了一種基于低相干光干涉法的透鏡中心厚度的非接觸測量方法，包括：采用白光或低相干光作為入射光源，調整等光程干涉儀兩光路臂之間光程差使其能夠觀察到干涉條紋；在兩光路臂中分別置入棱鏡組和光學平板玻璃，兩路光束分別垂直棱鏡組和光學平板玻璃端面，移動棱鏡組中可動楔形棱鏡調整光程差，直至測量過程中首次看到干涉條紋；在平板玻璃所在光路臂中置入被測透鏡并讓光束垂直通過透鏡中心，繼續移動可動楔形棱鏡直至第二次看到圓形干涉條紋；分別記錄兩次觀察到干涉條紋時可動楔形棱鏡聯動測量尺的位置讀數，計算透鏡中心厚度。本發明操作簡便、非接觸且無損測量，采用透過式干涉測量，特別適用于表面反射率極低的透鏡中心厚度測量。
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“基于低相干光干涉法的透鏡中心厚度的非接觸測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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