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快速估算紅外焦平面探測器中光敏元芯片厚度的方法

1321   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:32
一種快速估算紅外焦平面探測器中光敏元芯片厚度的方法；①當光敏元芯片厚度減薄到20?m時，在負電極區域上方出現環帶凹陷；②當光敏元芯片厚度減薄到14?m時，除環帶凹陷外，在負電極區域兩側出現典型棋盤格屈曲變形模式；③當光敏元芯片厚度減薄到10?m時，除環帶凹陷和棋盤格屈曲變形外，在環帶凹陷處，與負電極連接的銦柱正上方出現上凸變形；④當光敏元芯片厚度減薄到6?m時，棋盤格屈曲變形的峰谷差進一步增加。本發明有益效果：與現有方法相比，采用本發明快速估算方法具有非接觸性、無損性、快速性、準確性的特點，能夠滿足批量生產需求。
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