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光柵線寬比測量方法

777   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:31
本發明提出一種光柵線寬比測量方法，包括：提供SEM儀器以及已知線寬比的光柵；將一直線寬比的光柵放置于SEM儀器的載物臺中央，調節放大倍數直至形成清晰地云紋條紋，記錄形狀參數，計算當前放大倍數下掃描線的線寬比，最終標定出一系列不同放大倍數下的SEM儀器掃描線線寬比；將未知線寬比的光柵放置于SEM載物臺中央，調節SEM儀器的放大倍數直至形成清晰地云紋條紋，記錄形狀參數，查詢前面標定得到當前放大倍數下SEM儀器掃描線的線寬比，結合反演方法計算得到未知線寬比的光柵的線寬比。本發明具有靈敏度高、測量視場大，以及SEM分辨率高、對樣品無損傷、空間定位方便等優點，并且具有操作簡單，過程快速、表征區域大、檢測成本低等優點。
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