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用于熱絲化學氣相沉積襯底表面溫度測量的裝置

871   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:31
本發明公開了一種用于熱絲化學氣相沉積襯底表面溫度測量的裝置，包括氣相沉積系統和用于檢測襯底溫度的測溫裝置，所述的氣相沉積系統包括密閉腔室，在密閉腔室的內部設有基片臺，基片臺端面用于放置襯底，基片臺的底部固定用于驅動基片臺運動的旋轉軸，旋轉軸的另一端從密閉腔室的底部伸出；所述的測溫裝置為紅外測溫儀，在密閉腔室的側壁設有測量通道，測量通道的端部設有觀察窗，所述紅外測溫儀的探頭與所述觀察窗對正。該裝置可用于熱絲化學氣相沉積過程中，襯底表面溫度的測定。通過采用紅外測溫的技術，實時無損的監測該溫度在反應過程中的變化情況。該技術屬于非接觸式測量技術，不會對反應過程中基片臺的其它行為(如旋轉、升降等)產生影響。
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聲明：
“用于熱絲化學氣相沉積襯底表面溫度測量的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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