一種GaN熱膨脹系數測量的Raman散射方法,包括以下步驟:1)對樣品進行劃片并取樣,并清洗;2)對樣品進行變溫Raman測試;3)對測試結果進行線性擬合;提取線性擬合斜率和截距。根據提取的結果,結合Gruneisen參數???????????????????????????????????????????????的物理意義,實現對固體材料熱膨脹行為的測試和表征;本發明采用了變溫Raman散射技術,利用Raman散射獲得Raman聲子頻移與溫度之間的關系,能夠準確地實現對GaN、AlN和InN及其他III族氮化物外延層薄膜二元及多元合金體系熱膨脹行為進行無損檢測和表征,避免了一般表征方法中對樣品的破壞和較為復雜的公式推導和數學計算;由于對樣品的形狀和大小沒有嚴格意義上的要求,可方便地對各類半導體類材料的熱膨脹行為進行測試,方法簡單,易于實現,誤差小。
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