本申請公開了一種透射式平面閃耀光柵槽形角的測量方法,包括如下步驟:使線光源發出的平行光束沿光柵面法線方向入射閃耀光柵,記錄此時閃耀光柵的基準線與零位之間的初始角度K1,以及所述線光源的光能量值;保持光源不動,沿所述閃耀光柵的中心軸旋轉所述閃耀光柵,并持續檢測從所述閃耀光柵的刻痕小平面出射的衍射光能量值,當所述閃耀光柵每轉過1°的兩個T值之間差值的絕對值≧5%時,記錄終止角度K2;據如下公式計算所述閃耀光柵槽形角θ:其中,n為所述閃耀光柵基片材料的折射率,k=K2?K1。本申請所述的槽形角的測量方法測量光路簡單,實驗要求低,且無需切片,對待測的閃耀光柵是無損的。
聲明:
“透射式平面閃耀光柵槽形角的測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)