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單狹縫空間載波剪切散斑干涉測量系統及測量方法

843   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:27
本發明公開了一種單狹縫空間載波剪切散斑干涉測量系統及測量方法，其特征是：激光器出射的激光經過擴束鏡之后以擴散光的形式照射被測物，被測物的表面漫反射光依次經過成像鏡頭、狹縫光闌、4f系統以及邁克爾遜型裝置投射在CCD相機的靶面上。本發明可以對被測物表面的缺陷和應力形變進行無損、全場、快速、動態測量，且便于現場測量。
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聲明：
“單狹縫空間載波剪切散斑干涉測量系統及測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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