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量測圖案化襯底的量測方法

1174   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:26
本發明涉及一種量測圖形化襯底圖形的方法，主要用于測試在平滑襯底上進行規則圖形化后圖形尺寸的量測；方法中利用掃描電子顯微鏡（SEM）作為測試工具，但測試過程沒有按照普通裂片的制樣方式進行，而是將整片無損傷地進行測試；測試中將樣品進行一定角度傾斜，量測傾斜后的成像尺寸，經過一定運算可以得到所測樣品實際圖形尺寸。本發明介紹的方法給出了SEM在高度測試中新的形式，開啟了圖形化襯底圖形尺寸的無損傷測試模式，既節約了成本又簡化了測試中制樣的流程。
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聲明：
“量測圖案化襯底的量測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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