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基于納米測量與傾斜掃描白光干涉微結構測試系統及方法

1197   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:23
一種基于納米測量與傾斜掃描白光干涉微結構測試系統及方法,系統有圖像采集卡,數字CCD攝像機,顯微光學系統,干涉物鏡,可調傾斜工作臺,PC機,納米測量機,工作臺傾斜控制器,通過光纖向顯微光學系統提供光源的白光光源,PC機還分別連接圖像采集卡和工作臺傾斜控制器。方法是在納米測量機的工作平臺上固定可調傾斜工作臺,將被測樣品至于其上,由PC機控制納米測量機帶動可調傾斜工作臺沿其傾斜角度完成掃描,CCD數字攝像機采集圖像并由圖像采集卡傳至PC機進行后續處理;對于采集的圖像進行追蹤并進行干涉信號的提取后,進行零級干涉條紋的位置進行定位,最終確定表面形貌。本發明為無損的檢測,消除了光源熱效應的影響,可以實現0.1nm的位移分辨力。
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