本發明公開了一種基于阻抗譜的壓電器件結構缺陷檢測方法,屬于電子技術領域,本發明使用了差異因子來量化不同壓電器件之間阻抗譜的差異,通過對一批已知合格和已知不合格樣品的差異因子作統計,得到可用于缺陷檢測的標準阻抗譜以及閾值。測試新樣品的阻抗譜并計算其與標準阻抗譜之間的差異因子,通過新樣品差異因子與閾值的比較結果,可以判斷新樣品是否合格。依靠本方法,可以快速、無損的判斷壓電器件是否合格。
聲明:
“基于阻抗譜的壓電器件結構缺陷檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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