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真空電子器件內部真空度檢測方法

1135   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:20
本發明公開了一種真空電子器件內部真空度檢測方法，包括：確定真空電子器件的加電方式和加電參數；將真空電子器件的標準樣管與離子流測量系統連接；將標準樣管進行抽真空，使標準樣管內達到需要對標的真空度；測量標準樣管在所對標的真空度下的陽極離子流；測試不同的對標真空度下的離子流，完成離子流與真空度對應關系的標定工作，得到離子流?真空度標定表或離子流?真空度量化模型；將真空電子器件的待測樣管與離子流測量系統連接；測量待測樣管的陽極離子流；對照離子流?真空度標定表或將所測量的陽極離子流代入離子流?真空度量化模型，獲得待測樣管的真空度。本發明能夠對真空電子器件內部真空度進行高真空、高測量精度的無損檢測。
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