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單透鏡型檢測晶片基底二維形貌和溫度的裝置

886   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:19
本發明公開了一種單透鏡型檢測晶片基底二維形貌和溫度的裝置，屬于半導體材料無損檢測技術領域。該裝置在光束入射至晶片基底之前，將透鏡設置于分光平片之后，而在形成第二種反射光束之后，將透鏡設置于分光平片之前，這樣，只需要應用一個透鏡即可，無需選用兩個透鏡，或者，在選用激光器和探測器時，無需它們自身集成有透鏡，使得檢測晶片基底二維形貌的裝置的成本降低。
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聲明：
“單透鏡型檢測晶片基底二維形貌和溫度的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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