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用于檢測平板光學元件面形誤差的裝置及方法

885   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:18
本發明涉及一種用于檢測平板光學元件面形誤差的裝置及方法。所述裝置包括光學元件支架，匹配液體，匹配液體盛放槽。所述裝置可在使用立式干涉儀測量平板光學元件時，消除平板光學元件后光學表面反射光對前光學表面面形誤差檢測造成的干擾，進而檢測出可靠的光學表面面形誤差分布。本裝置及方法能有效解決普通立式干涉儀無法檢測平板光學元件面形誤差的問題，且裝置及方法原理簡單、制造及使用成本較低，在不改變原立式干涉儀結構的情況下能完成對平板光學元件面形誤差的檢測。采用非接觸的方式檢測光學元件面形誤差，對光學元件無損傷，無夾持應力。檢測光學元件面形誤差，過程中對光學元件的清洗用自來水清洗即可，不需要特殊的清洗溶劑及方法。
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