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透明材料微小器件鍵合質量檢測系統

1097   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:16
針對材料和結構均特殊的透明材料微小器件的鍵合質量檢測，發明了一種透明材料微小器件鍵合質量檢測系統，分析了檢測系統硬件中主要部件的性能要求，研究了該檢測系統的圖像處理技術。檢測系統利用光源、相機、鏡頭和計算機等主要部件實現圖像采集功能，并通過圖像相減、灰度直方圖調整、圖像濾波和圖像二值化等圖像處理功能來完成質量檢測。實驗結果表明，提出的可見光透射機器視覺檢測法能靈敏有效地檢測出透明材料微小器件鍵合位置處存在的鍵合間隙和缺陷大小，檢測精度可達10μm，滿足透明材料微小器件鍵合質量的要求，是一種高效、非接觸、無損、無污染的檢測方法。
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“透明材料微小器件鍵合質量檢測系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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