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用于光學元件表面熒光特性顆粒檢測的裝置及方法

827   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:15
本發明公開了一種用于光學元件表面熒光特性顆粒檢測的裝置及方法，包括：紫外熒光成像系統，其連接有控制電腦；運動機構，紫外熒光成像系統設置在運動機構上；將紫外熒光成像系統固定于運動機構上，將光學元件放置于底座內；通過運動機構的支架調整紫外熒光成像系統與光學元件的距離，使其成像最清晰；控制電腦控制紫外熒光成像系統，使用CCD相機拍照并分析檢測結果；通過運動機構的縱向導軌、橫向導軌和豎直導軌移動紫外熒光成像系統，并重復進行拍照分析，完成對光學元件的抽樣檢測。本發明可根據成像鏡頭的工作距離，通過運動機構調節紫外熒光成像系統與光學元件之間的距離。本發明檢測方法為無損檢測，與光學元件無接觸，無二次污染產生。
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聲明：
“用于光學元件表面熒光特性顆粒檢測的裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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