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低輻射鍍膜玻璃的光學參數檢測方法

1179   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:14
本發明涉及一種低輻射鍍膜玻璃的光學參數檢測方法，該低輻射鍍膜玻璃為SnO2:F/SiCxOy，0＜x＜1，1＜y＜4，屬于鍍膜玻璃檢測領域。該方法是在獲得SnO2:F/SiCxOy節能鍍膜玻璃橢圓偏振光譜的基礎之上，引入五層膜層結構以及光學色散方程，通過迭代來回歸實測橢偏光譜，最終獲得SnO2:F/SiCxOy鍍膜玻璃的膜層結構及其每一層的光學參數，利用該方法實現鍍膜玻璃光學性能的在線實時監控。本發明僅采用光學測試手段來獲得準確的膜層結構及光學參數，對樣品無損傷、測量耗時少、測試方法簡便，對被測樣品表面無特殊要求，十分適合于SnO2:F/SiCxOy節能鍍膜玻璃的性能檢測。
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