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利用電容變化檢測刻蝕側壁粗糙的方法

1121   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:12
本發明公開了一種利用電容變化檢測刻蝕側壁粗糙的方法，僅在功能區域進行刻蝕工藝前添加上述工藝流程，避免增加功能器件設計的復雜；利用檢測區域電容變化反應功能區域側壁粗糙，減小了小尺寸帶來的誤差，同時避免裂斷面等對器件結構有損害的操作，實現對刻蝕結構的無損檢測；檢測區域數目由功能區域刻蝕窗口大小種類決定，實現了更加精準地檢測不同條件下的刻蝕側壁粗糙目的，同時實現對不同刻蝕條件下側壁粗糙的一步檢測。本發明設計的工藝流程簡單，各工序均為成熟技術，工藝難度較低，實現簡便，易于操作。
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“利用電容變化檢測刻蝕側壁粗糙的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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