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半導體檢測設備

744   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:12
本實用新型公開了一種半導體檢測設備,包括支撐架和橫軸，所述橫軸設置在支撐架的下面，所述橫軸上設有萬向輪，所述支撐架中心處設有SQUID檢測系統，所述SQUID檢測系統包括檢測外殼、SQUID探頭和聚焦透鏡，所述SQUID探頭設置在檢測外殼下面，所述聚焦透鏡設置在SQUID探頭下面，所述檢測外殼內側頂端設有傳感器，所述檢測外殼一側設有光電管，所述檢測外殼另一側設有機械手，所述支撐架左側固定有SQUID控制器，所述SQUID檢測系統下面設有防震檢測臺，所述防震檢測臺下面設有旋轉臺，所述旋轉臺與支撐架轉動連接。該實用新型，實現了無損檢測，檢測的精度較高，具有良好的分辨率，在半導體結構分析和光電器件性能檢測等方面，具有很好的應用前景。
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聲明：
“半導體檢測設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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無損檢測
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