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基于散射原理對不透明材料內部微/納米級體缺陷的檢測方法

720   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:04
一種基于散射原理對不透明材料內部微/納米級體缺陷的檢測方法,屬無損檢測領域。本檢測方法是用針對被檢測材料透明或半透明的光源,發出波長為0.8～11.6μm的光束經小孔空間濾波后,進入聚焦系統聚為一微細光束,將此微細光束打入被測材料內部,通過三維超精密工作臺移動被測材料,實現聚焦激光束焦點對材料內部各層面的掃描,將圖象傳感器放在與由激光器、小孔及聚焦系統構成的光軸垂直的方向上接收散射光,由散射光分布可判斷材料內部有無缺陷及缺陷的大小等。采用本方法檢測不透明材料,其探測微缺陷的尺度可小至納米。
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