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半導體激光器無損波長分類篩選方法

774   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:03
一種半導體激光器無損波長分類篩選方法，通過電致發光初檢及工藝片整片掃描光熒光譜復檢的方法，可有效篩選不同波長范圍的半導體激光器外延片，適用范圍廣。本發明可在前道工藝完成整片激光工藝片波長篩選分類，定位精準，數據全面，速度快，大大提高后道工藝工作效率。同時本發明避免了對激光器工藝片的結構破壞，提高了外延片利用率，節約大量成本。
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