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低真空痕量氣體的快速無損采樣分析裝置和方法

726   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:02
本發明提出了一種低真空痕量氣體的快速無損采樣分析裝置和方法，該裝置包括真空獲得模塊、采樣模塊、氣體分析模塊和控制模塊。其中真空獲得模塊包括二級真空腔室、真空泵組和隔斷閥。采樣模塊包括工藝腔室、連接法蘭、采樣細管、截止閥、微孔法蘭、二級真空腔室和電離單元的微孔。氣體分析模塊包括總壓監測器、電離單元、質量分析器和探測器等。本發明裝置解決了低真空氣體采樣分析過程中出現的質量歧視效應，真正做到了無損采樣，測試結果準確；半封閉式電離單元可保持更高壓力，提高了采樣量；降低了采樣時二級真空腔室的本底，降低了采樣帶來的本底干擾和微量氣體的損失，進一步提高了裝置的檢測下限，更能分析具有極低濃度的氣體。
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