本申請公開了一種極化晶體的無損檢測方法、系統及其應用,用于極化晶體疇域結構重要指標參數(包括占空比、極化周期等)的無損狀態下的表征。該對極化晶體施加一定的電場,不改變極化晶體疇結構的前提下放大極化晶體折射率的變化;通過圖像采集、衍射光強采集和數據分析,得到極化晶體疇結構的性能參數。通過對晶體施加一定的電場放大折射率變化量卻又不會改變極化晶體疇結構,通過圖像采集粗測、衍射光強分布圖采集分析,采用嚴格耦合波分析方法(RCWA)進行優化分析,從而在晶體無損狀態下獲得極化晶體精確的疇域結構相關性能參數。
聲明:
“極化晶體疇結構無損表征的方法、系統及其應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)