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富硼層和硼硅玻璃層的快速無損橢偏測試方法

786   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:59
本發明提供一種富硼層和硼硅玻璃層的快速無損橢偏測試方法，具體地，所述制備方法包括：采用橢偏分析儀測試樣品A，得到樣品A的Ψ(A)?λ曲線、采用橢偏分析儀測試樣品B，得到樣品B的Ψ(B)?λ曲線；基于第一性原理，得到樣品A富硼層主要成分的光學性質，并導出富硼層不同波段對應的折射率和吸光系數曲線、結合橢偏的數值分析，求解得到樣品A富硼層的厚度、折射率和消光系數、樣品A富硼層富硼層的厚度、折射率和消光系數帶入樣品B的Ψ(B)?λ曲線，通過擬合分析得到樣品B硼硅玻璃層的厚度、折射率和消光系數。本發明具有快速、無損、準確測量的特點。
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聲明：
“富硼層和硼硅玻璃層的快速無損橢偏測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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