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面向納米觀測及納米操作無損自動逼近方法及裝置

1200   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:58
本發明涉及基于AFM原子力掃描顯微鏡技術,公開了一種面向納米觀測及納米操作無損自動逼近方法及裝置,本發明通過控制步進電機帶動樣品臺上升,利用激光接收器檢測信號來判斷樣品是否運動到預定位置,完成逼近初調;然后控制壓電陶瓷驅動器向上逼近,通過檢測光電傳感器來判斷樣品是否接觸探針,來完成最終逼近。本發明可以有效解決在樣品逼近過程中樣品厚度對逼近過程中的影響,減少逼近過程中對探針及樣品表面的破壞損傷。
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聲明：
“面向納米觀測及納米操作無損自動逼近方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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