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面向納米觀測與操作的樣品無損逼近裝置

793   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:58
一種面向納米觀測與操作的樣品無損逼近裝置,包括:初調運動平臺,通過由步進電機連接一維運動平臺;精密運動平臺,由PZT驅動器構成,安在一維運動平臺內;反饋控制單元,將位于樣品上方探針設在激光光路上,產生的反射激光至光電傳感器;驅動控制器,與光電傳感器電連接,并與步進電機和PZT驅動器通訊;光電限位開關,被固在底座側壁和一維運動平臺上;驅動控制器以單片機為核心,與上位機通信交換系統狀態與控制參數信息。通過控制樣品相對于探針進行微米級的初調運動及納米級的精密運動,經檢測反射激光光斑的位置變化信號的反饋控制步驟,通過檢測樣品逼近探針產生原子力作用時產生的光電檢測信息進行反饋控制,達到控制樣品無損逼近探針的目的。
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