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無損檢測半導體材料內部缺陷的方法和設備

874   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:56
公開了一種無損檢測半導體材料(2)的內部缺陷的設備和方法。半導體材料(2)具有長度(L)、橫截面區(Q)以及與所述長度(L)對齊的側面(5)。超聲波設備(10)被分配到所述半導體材料(2)。此外,設置在所述超聲波設備(10)和半導體材料(2)的側面(5)之間產生沿著半導體材料(2)的側面(5)的長度(L)的相對運動的機構(9)。
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無損檢測
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