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藍寶石微缺陷無損檢測裝置

832   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:53
本發明公開了一種藍寶石微缺陷無損檢測裝置，該裝置中激光器、分光鏡和藍寶石樣品固定在光路直線導軌上的同一個水平面上；激光器發出的激光經分光鏡分成兩路：參考光和入射光，高清CCD1采集參考光信號傳輸到計算機；入射光照射藍寶石樣品后分為透射光和散射光，高清CCD2采集透射光信號傳輸到計算機，高清CCD3采集散射光信號傳輸到計算機，同步觸發器使高清CCD1和高清CCD2同步對參考光和透射光進行采集。本發明對藍寶石微/納米級缺陷進行檢測同，不受樣品形狀、尺寸的影響，可以在線檢測、靈敏度高、重復性好、測量結果精確，不受衍射極限的限制，能分析由缺陷引起對應脈沖信號的衰減，便于標準化處理。
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聲明：
“藍寶石微缺陷無損檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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