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無損檢測環形內壁表面的裝置

947   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:52
本實用新型涉及一種光學無損檢測環形內壁表面的裝置,其特征在于:在被測環形內壁的軸線上依設置細玻璃棒、擴束裝置、剪切元件、成像裝置、線陣CCD和旋轉臺;剪切元件成像裝置、和線陣CCD固定在旋轉臺上,且線陣CCD的主光軸與旋轉軸重合;細玻璃棒設置在環形內壁軸線距環形內壁中心小于200mm的位置,并平行于環形內壁軸線放置;激光器的光軸與玻璃棒的中心軸線呈0.01°～20°角度放置;線陣CCD采集的圖像信號輸出至計算機,計算機的控制信號輸出至旋轉臺控制旋轉臺的旋轉。利用線陣CCD推掃,根據待測樣品表面設計的微位移平臺的移動軌道,沿所述移動軌道推掃得到的散斑圖消除了散斑像的離焦現象,提高了缺陷檢測的靈敏度。
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