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SiC雪崩光電二極管的無損缺陷檢測方法及裝置

781   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:52
本發明公開了一種SiC雪崩光電二極管的無損缺陷檢測方法及裝置，利用位錯的發光規律，通過SiC雪崩光電二極管在雪崩擊穿下的發光圖像，辨別SiC雪崩光電二極管有源區內是否存在位錯缺陷，進行高質量SiC雪崩光電二極管篩選，是一種成本低、操作簡單的無損檢測方法。本發明與其他位錯檢測方法相比，所用設備(探針臺、源表、COMS相機)均為微電子器件研究的常用設備，系統搭建簡單、成本低、操作簡單。
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“SiC雪崩光電二極管的無損缺陷檢測方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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