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環形光式暗場共焦亞表面無損檢測裝置和方法

1101   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:49
本發明提供一種環形光式暗場共焦亞表面無損檢測裝置和方法，屬于光學精密測量技術領域。點光源發出的光依次經過準直鏡、環形光發生器、分光棱鏡和物鏡，物鏡將激光匯聚至待測樣品，載有待測樣品信息的反射光和散射光依次經過物鏡和分光棱鏡，入射至探測互補光闌，反射光被探測互補光闌遮擋，散射光依次經過探測互補光闌、收集透鏡和探測針孔，最終入射至光電探測器，從而完成對亞表面的檢測。本發明采用環形光束照明，結合探測互補光闌實現暗場共焦，解決了普通共焦顯微技術檢測亞表面損傷信噪比低的問題，適用于亞表面無損檢測。
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