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對襯底的多層膜表面的顆粒幾何尺寸進行無損檢測的方法

1095   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:48
一種對襯底的多層膜表面的顆粒尺寸進行無損檢測的方法,提供表面具有多層膜結構的待測襯底,檢測附著于襯底的多層膜表面的顆粒的幾何尺寸。采用標準測試顆粒對應分布于與待測襯底具有相同多層膜結構的測試襯底的多層膜表面,建立標準顆粒的散射光強的高斯峰寬度與相應的實際幾何尺寸之間的轉換關系,作為測定表面顆粒尺寸的依據。本發明的優點在于,由于高斯峰寬度與幾何尺寸之間的轉換關系是基于多層膜表面建立的,再用于測定先通的多層膜表面顆粒尺寸,因此可以排除多層膜表面由于多次反射對散射光造成的干擾,提高測試的可靠性。
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