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新型薄膜電阻型應變傳感器

936   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:05
本實用新型涉及傳感器技術領域,確切地說是一種新型薄膜電阻型應變傳感器,其中薄膜材料覆蓋在襯底上,在薄膜的兩端設有引出電極,襯底上設有傳感器固定結構,電阻率隨薄膜晶格間距變化而成斜率變化。本實用新型同現有技術相比,具有制備、結構和匹配測量電路的簡單性,又具有氧化物材料的化學穩定性。
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聲明：
“新型薄膜電阻型應變傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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