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壓力控制系統和等離子體沉積設備

987   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:05
本實用新型涉及等離子化學氣相沉積技術領域，公開了壓力控制系統及應用了該壓力控制系統的等離子體沉積設備。其中，壓力控制系統包括：與真空腔體通過真空管道連接的真空泵，真空管道上設置有電控制閥門；用于測量真空腔體的真空度的真空計，真空計和電控制閥門通過可編程序控制器通信連接。本實用新型所提供的壓力控制系統能夠自發調節真空腔體內的壓力，使得氣壓保持在一定范圍內。
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