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基于Pd/MoOx納米粒子組裝結構的乙醇氣敏材料及制備方法、傳感器件

1131   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:04
本發明公開了一種基于Pd/MoOx納米粒子組裝結構的乙醇氣敏材料及制備方法、傳感器件，本發明的Pd/MoOx納米組裝材料利用團簇束流沉積技術制備，利用雙靶團簇濺射源，在帶有絕緣襯底的叉指電極表面先后沉積Mo納米粒子和Pd納米粒子，在空氣中經過陳化后即可得到不同質量比例的Pd/MoOx混合納米粒子組裝材料；即可利用該材料實現乙醇濃度的定量測量。本發明與其他現有技術相比，本發明涉及的鉬氧化物和鈀混合納米粒子組裝材料具有更多的吸附氧含量性質，且由于Pd納米粒子對乙醇的化學修飾以及協同催化作用，混合納米組裝材料相比于單一的MoOx具有更多的活性位點，可以在較低的溫度下對乙醇實現高靈敏度和快速響應的感知。
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“基于Pd/MoOx納米粒子組裝結構的乙醇氣敏材料及制備方法、傳感器件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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