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氧化鋁陶瓷基片表面加工方法

1170   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:03
本發明是一種氧化鋁陶瓷基片表面加工方法，該方法包括基片的固定和粘貼，將基片和輔助二氧化硅薄片共同粘貼在陶瓷承載盤上；基片的磨削加工，砂輪以中間進給方式磨削基片去除材料；基片的研磨加工，采用固著磨料，去除磨削留下的砂輪??；基片的高速拋光，采用固著拋光丸片對基片進行高速拋光；基片的化學機械拋光，采用納米二氧化硅拋光液進行拋光；基片的拆卸，基片正面加工完成后，將基片從陶瓷承載盤上拆卸下；基片的翻面固定，融化石蠟，將基片翻面同正面一樣固定；基片的反面減薄，將基片最厚位置厚度加工至要求的上限值之上的一個值，通過研磨?測量?研磨循環步驟精確控制基片的厚度。本發明方法加工時間短、成品率高、成本低。
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聲明：
“氧化鋁陶瓷基片表面加工方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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