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低應力的各向同性有機物填充的裝置及方法

853   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:02
本發明涉及一種新的低應力的各向同性有機物填充的裝置及方法，屬于探測器微細加工技術領域。該方法在熱釋電陶瓷網格化后的溝槽內，通過化學氣相沉積的工藝，填充聚對二甲苯（Parylene）。通過控制沉積溫度、腔體壓力、時間等參數，實現了溝槽的各向同性有機物填充。填充的有機物厚度可控，無空洞，應力低，保持了溝槽原有的形狀，膜層厚度均勻，有利于后續的加工。經過本發明方法填充的熱釋電陶瓷，在350℃的后續工藝高溫仍然不開裂，易于推廣應用。
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“低應力的各向同性有機物填充的裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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