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低應力的各向同性有機物填充的裝置及方法

850   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 08:57:02
本發(fā)明涉及一種新的低應力的各向同性有機物填充的裝置及方法,屬于探測器微細加工技術(shù)領(lǐng)域。該方法在熱釋電陶瓷網(wǎng)格化后的溝槽內,通過(guò)化學(xué)氣相沉積的工藝,填充聚對二甲苯(Parylene)。通過(guò)控制沉積溫度、腔體壓力、時(shí)間等參數,實(shí)現了溝槽的各向同性有機物填充。填充的有機物厚度可控,無(wú)空洞,應力低,保持了溝槽原有的形狀,膜層厚度均勻,有利于后續的加工。經(jīng)過(guò)本發(fā)明方法填充的熱釋電陶瓷,在350℃的后續工藝高溫仍然不開(kāi)裂,易于推廣應用。
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