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集成光信號計算裝置的制備方法

1031   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:00
本發明涉及一種集成光信號計算裝置的制備方法，屬于光電技術領域。提供了使用MESA光刻、PAD光刻、干法刻蝕、濕法刻蝕、化學氣相沉積法等方法將發射單元、分光單元與探測單元三個模塊進行集成，獲得高集成度的光信號計算裝置，只需要外聯電路便可啟動，可以隨意移動。集成光信號計算裝置的制備方法有效提高光計算裝置的集成化程度以及降低制造成本，并且工藝簡單有利于產業化。
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聲明：
“集成光信號計算裝置的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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