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波導的刻蝕方法

811   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:59
本申請涉及半導體制造技術領域，特別涉及一種波導的刻蝕方法，該方法包括：提供表面具有波導材料層的半導體襯底；波導材料層基于化學氣相沉積技術得到；采用光刻工藝在波導材料層表面形成圖形化的掩膜層；掩膜層用于確定波導材料層的待刻蝕面；基于掩膜層，采用干法刻蝕工藝刻蝕波導材料層的待刻蝕面，以形成波導；其中，在刻蝕波導材料層的待刻蝕面的過程中，通過實時測量波導材料層的刻蝕深度和波導材料層剩余的襯底厚度，來確定刻蝕終點。如此，可以提高波導的刻蝕精度，減少刻蝕所得波導深度的尺寸偏差，并提高波導的性能。
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聲明：
“波導的刻蝕方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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