Cr基多主元氮化物涂層及其制備方法與應用

本發(fā)明公開(kāi)了一種Cr基多主元氮化物涂層及其制備方法與應用。所述Cr基多主元氮化物涂層的化學(xué)表達式為CrM1M2N，M1、M2均獨立地選自Nb、Mo、Ta、W、Ti、Sc、Hf等。所述制備方法包括：采用第一性原理計算方法獲取不同元素組成和不同成分的涂層的體模量和剪切模量，并依據力學(xué)性能預測模型計算涂層的硬度和彈性模量，從而確定最佳的M1元素和M2元素，再依據設計出的材料體系，采用磁控濺射共沉積技術(shù)，在基材表面沉積CrM1M2N涂層，制備所述Cr基多主元氮化物涂層。本發(fā)明獲得的Cr基多主元氮化物涂層具有高硬度和彈性模量，有望用于軸承、齒輪等關(guān)鍵零部件表面來(lái)保證機械加工穩定性、高效和高精度。