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進行離子輻照實驗的ECR-PECVD裝置

993   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:58
一種進行離子輻照實驗的ECR-PECVD裝置，該裝置包括微波源、通電線圈、進氣管、手持式紅外測溫儀、可視窗口、加熱爐、抽真空管道、水冷管、樣品、絕緣陶瓷片。設備的腔體上端附有通電線圈，為等氣體電離提供磁場；在腔體的一側設有進氣管，底端設有抽氣管道，另一側設有可視窗口。ECR-PECVD設備在化學氣上沉積方面有很大的應用，但經過改造后在面向等離子體材料的研究方面也能起到至關重要的作用。其中在樣品上加負偏壓在150V左右是束達到2x1020He·m-2·s-1，并能夠在此參數下穩定長時間的工作；此設備在溫度可控的條件下能夠進行各種參數的調節，能夠穩定的進行工作解決了低能高束流設備短缺的問題。
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