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柔性薄膜熱電堆及其制備方法

806   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:57
本發明涉及一種柔性薄膜熱電堆及其制備方法，所述熱電堆包括：聚酰亞胺（Polyimide，簡寫為PI）薄膜襯底，襯底的一面設置有第一熱電極，另一面設置有第二熱電極，同時襯底上包含有數個通孔用于連接第一熱電極與第二熱電極，從而形成熱電堆。本發明還公開了該熱電堆的制備方法，包括利用化學溶液法在聚酰亞胺薄膜的兩面原位生長金屬，分別制得銀薄膜與鎳薄膜，再利用激光直寫方法對銀薄膜和鎳薄膜進行圖形化處理，圖形化后的熱電極經通孔連接形成熱電堆，該熱電堆不僅制備流程簡單，且尺寸小成本低，有較高的靈敏度以及快速響應等優點，可實現冷熱端溫度的實時監測，具有高性價比和實用性。
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