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制備半導體集成電路器件金屬橫截面樣品的方法

1130   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:57
本發明提供了一種制備半導體集成電路器件金屬橫截面樣品的新方法,該方法包括傳統方法中對半導體集成電路器件用樹脂進行鑲嵌，再進行機械研磨拋光,并創新地采用化學腐蝕，解決了機械研磨拋光后延展性較好的金屬橫截面變形較嚴重的問題。采用該方法制備的樣品可在光學顯微鏡或掃描電子顯微鏡下準確地測量各層金屬的厚度。本發明具有成本低、周期短、易操作、無毒害的特點。
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聲明：
“制備半導體集成電路器件金屬橫截面樣品的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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