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薄膜晶體管及其制作方法

709   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:57
本發明公開了一種薄膜晶體管及其制作方法，該薄膜晶體管的柵極是具有立體結構的導電材料，沿著與其長度方向平行的中心軸線，該導電材料呈中心軸對稱結構；該導電材料的一端作為柵極接觸部分，其余部分的外圍包覆著柵極介質層，柵極介質層外圍包覆著導電溝道層，源極和漏極分別設置在導電溝道層外圍。與現有的平面型薄膜晶體管相比，本發明提供的薄膜晶體管呈立體包覆結構，具有成本低廉、制作簡單、攜帶方便、操作靈活的優點，能夠直接用于氣體、液體化學物質和生物材料等的探測和鑒別，具有良好的應用前景。
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