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原子層沉積設備及其制備電池催化劑的方法

1202   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:57
本發明涉及原子層沉積領域，具體是一種原子層沉積設備，包括等離子體發生器，所述等離子體發生器上端設有管道，等離子體發生器下端通過連接管道連接有反應腔，反應腔頂部設有支撐架，反應腔左側安裝有進源管道。本發明原子層沉積設備結構簡單，易操作；同時利用本發明原子層沉積設備制備直接甲醇燃料電池陽極催化劑的方法，高效、易實現，制備出產品具有高比表面積、優異催化性能的優點。進而解決了直接用氧化石墨烯做載體，電池的電化學性能測試并不能達到理想效果的問題。
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