本發明公開一種基于高純石英壓力敏感元的光纖傳感器及其制備方法,包括光纖、石英套管、高純石英壓力敏感元;石英套管內設有通孔,所述通孔內插入所述光纖;石英壓力敏感元與石英套管連接。本發明能夠適用于除氫氟酸和150℃以上的熱磷酸以外的耐腐蝕等惡劣環境,因生物組織對石英材料不排斥所以也適用于顱內壓的監測等應用;并通過激光熱熔的方式免膠固定,能夠提高穩定、可靠性和適用范圍;石英壓力敏感元的厚度由光學冷加工工藝控制,無需化學腐蝕等工藝,提高光纖傳感頭的穩定性、可靠性和壽命;本發明制作過程簡單、快捷,傳感器安全可靠、穩定性好,結合傳統的光學冷加工工藝能夠實現極小厚度的石英壓力敏感元熱熔。
聲明:
“基于高純石英壓力敏感元的光纖傳感器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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