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鈀金合金氫氣傳感器芯體的制造方法

1114   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:56
一種鈀金合金氫氣傳感器芯體的制造方法，屬于傳感器技術及制造領域，本發明為解決現有傳感器芯體穩定性不高，并且成本高的問題。本發明的具體過程為：依次用丙酮溶液、酒精和HF溶液清洗硅片，然后甩干；利用干法濕法混合氧化，在硅片表面形成第一二氧化硅層和第二二氧化硅層；利用化學氣相沉積在第一二氧化硅層的表面形成氮化硅層；利用濺射在氮化硅層表面形成鈀鎂合金薄膜；利用濺射在氮化硅層的表面形成測溫電阻和加熱電阻；在背面利用腐蝕形成背面腐蝕槽。本發明用于氫氣傳感器的生產和使用中。
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